а

аҽ

̳

ڷ

̳

> а > ̳

2017-1б 3 ݷ ' '
۾ ۼ 2017-05-17 17:32:17
2017-05-17 17:48:49

Ͻ : 2017.05.10. 18:00 ~ 19:00

: 114ȣ

:

: ִ (б а)


  1. ΰ?

     , ̴. 1nm=10-9m (10 1m)̴.


   2. ̶?

ũ ֿ ̸ μ Ӱų , ȭ,

ǹѴ.

   

   3. ?

100nm ũ⸦ ǹѴ. 100nmϰ Ǹ bulk ʴ Ư Ÿ Ѵ.

           ) , , Ʃ


  • 1) Top-down : ũ(ū ) ۰ ߶ ̴. 100nm ũ ƴ.

  • ) ׷, lithography

  • 2) Bottom-up : ڳ ڸ ׾Ƽ ̴. nmũ ۺ ϴ. µ з ȯ濡 ſ ΰϴ.

  • ߿Ѱ?

    ũⰡ ۾ , ȭ, , Ư¡ ο Ÿ.


  • мϳ?

    -1 : ̰ (ְ õ . ũι ũ⸦ ٷ.)

    -2 : ̰ (ְ ʸ . ߰ 䱸ȴ. SEM, TEM )

    -3 : ̰ (ְ õ . μ ڴ ϰ ݵ߽ Ѵ.)


    4. о

-ʼҼ/ģ ǥ : ʰ ǥ鿡 ׶

ؿ.

-Ư : ߹ٴ Ͽ. ǥ鿡 ٴٰ () ϸ ٽ ְ Ѵ.


    5. ̽

- : ũ ý ϴ

-뽺Ͽ м

-

- (tolerance)


    6. ȸ å

-Ȱ ȣ

-

- ȣ


    7. ?

        ̴. ̿ ̴. ȭ, ȭ, ڼ ȴ.


7-1) Ȯġ

̸ Ȱϴ ǹѴ. Ȱ ѵ, Ȱ о߸

, (/), ⺸ȣ(з,dz ) ͸ ý Ȱ ϴ.


7-2)

з ϴ ̴. ָ Ǵ ̴.

ó Actuator Ȱ ְ з¹ б Ͼ θ Ȱ밡ϴ.




2017-1б 2 ݷ '̿ Ȱ '
2017-1б 4 ݷ ' ϴ ̷ '