· Resolution : 3.0nm (30kV, SE image) 10.0nm (3kV, SE image)
· Magnification :  x100 ~ x300,000
· Objective IRIS :  Variable aperture with 4 different diameters (30um,50um,100um,200um)
· Image Shift : ±50um
· Stage : Manual Stage, X: 40mm, Y: 40mm, Z: 5~50mm, T: -20°~90°, R:360°
· Sample Size : Horizontal: 130mm, Vertical: 60mm
· Display Mode : 
   - Reduced window mode: 320 x 240 pixel
   - TV screen scan mode: 640 x 480 pixel
   - Slow screen scan mode: 640 x 480 pixel (3steps)
   - Photo screen capture mode 1: 1280 x 960 pixelPhoto screen capture mode 2: 2560 x 1920 pixel
   - Waveform observation mode
· Vacuum system : Turbo molecular pump(3분 이내 진공가능) / Rotary pump
· Optional Detector 
   - EDS(Energy dispersive spectroscopy
   - WDS(Wavelength dispersive spectroscopy)
   - BSE(Backscattered Electron)
   - EBSD( Electron Back Scattered Diffraction)
· Dimension & Weight : Main system: 770(W)x880(D)x1500(H)mm, 350kg